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參數(shù)
譜儀型號 | UES235-S1-120 | UES235-S1-300 | UES235-S1-1200 | UES235-S1-2400 |
光柵刻線（l/mm） | 120 | 300 | 1200 | 2400 |
入射角（°） | 87 | 87 | 87 | 88.65 |
分辨率* | 0.2nm@120nm | 0.15nm@50nm | 0.02nm@13.5nm | 0.01nm@5nm |
光譜范圍（nm） | 50~200 | 20~80 | 5~20 | 1~6 |
真空兼容 | 1x10-4Pa | |||
入射狹縫 | 5~300μm 在線可調(diào) | |||
探測器 | CCD/MCP/sCMOS | |||
譜儀接口 | KF40(可定制） | |||
濾光片支架 | 濾光片（金屬膜）支架接口定制 | |||
備注：*分辨率為在特定的狹縫開口大小以及探測器像元尺寸在13.5μm情況下的測試值。
特點(diǎn)
? 結(jié)構(gòu)緊湊
? 狹縫在線可調(diào)
? 激光輔助準(zhǔn)直
? 低雜散光
? 可定制化方案
應(yīng)用
? 軟X射線-真空紫外波段光源開發(fā)和診斷、監(jiān)測
? 激光等離子體、磁約束等離子體、放電等離子研究
? 高次諧波和阿秒科學(xué)
? 軟X射線-真空紫外波段材料與器件測試
? 同步輻射、自由電子激光、大型激光裝置等大裝置光譜診斷
測試實(shí)例
氙氣放電光譜
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