PHEMOS-1000是一款高分辨率發(fā)射顯微鏡，通過(guò)檢測(cè)半導(dǎo)體器件缺陷引起的微弱光發(fā)射和散熱，確定半導(dǎo)體器件中的故障位置。 由于PHEMOS-1000可與通用探針組合使用，因此您可以使用您熟悉的樣品設(shè)置來(lái)執(zhí)行各種分析任務(wù)。 安裝可選的激光掃描系統(tǒng)可以獲取高分辨率的圖案圖像。 不同類(lèi)型的檢測(cè)器可用于各種分析技術(shù)，例如發(fā)射分析，熱分析和IR-OBIRCH分析。 PHEMOS-1000支持各種任務(wù)和應(yīng)用，從探針插座板到大尺寸300 mm晶圓探針。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

- 可安裝兩個(gè)超高靈敏度攝像頭：

用于發(fā)射分析和熱分析或可見(jiàn)光和近紅外光的不同檢測(cè)波長(zhǎng)范圍的覆蓋范圍允許容易地選擇與樣品和失效模式 匹配的分析技術(shù)。

- 最多可安裝3個(gè)波長(zhǎng)的激光器和用于EOP的探頭光源

- 適用于各種樣品的光學(xué)平臺(tái)

光學(xué)平臺(tái)的工作范圍

X +/- 20mm

Y +/- 20mm

Z +/- 75mm

*由于使用探針并干擾樣品臺(tái)或安裝NanoLens，工作范圍可能比此值窄。

產(chǎn)品配置可選：

● 激光掃描系統(tǒng)

● 高靈敏度近紅外相機(jī)進(jìn)行光發(fā)射分析

（根據(jù)客戶樣品特點(diǎn)對(duì)不同波長(zhǎng)范圍的光發(fā)射探測(cè)可以選配不同型號(hào)相機(jī)，InGaAs, C-CCD, Si-CCD, Emmi-X）

● 高靈敏度中紅外Thermal相機(jī)進(jìn)行熱分析
● 激光誘導(dǎo)阻值變化分析（OBIRCH）

● D-lock in

● Thermal Lock in

● EOP/EOFM
● Tilt Stage
● Nano Lens 進(jìn)行高分辨率、高靈敏度分析
● Navigation功能
● 連接測(cè)試機(jī)進(jìn)行動(dòng)態(tài)分析
● Laser Marker