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H30-UVL是一款設計獨特的真空紫外光譜儀，小角度入射光路中采用超環(huán)面光柵，在整個光譜范圍內保持極低的像差和高光通量，可二維成像。H30-UVL運用靈活，只要更換出射端的狹縫和法蘭，就可以分別實現(xiàn)單色儀和攝譜儀功能。
主要特點
單光學元件設計，光損失最小化
采用專利超環(huán)面光柵技術，實現(xiàn)25mm平像場
單塊光柵即可實現(xiàn)50-300nm高靈敏度采譜
只需換狹縫和法蘭，即可實現(xiàn)單色儀和攝譜儀兩種功能。
標準配置
| 光學設計 | Toroidal VLS Grating (single optic) |
| 焦距 | 274 mm |
| 孔徑 | f/6 |
| 光柵刻線密度 | 1200 gr/mm |
| 光柵類型 | Replica (Master in option) |
| 光學鍍膜 | AlMgF2 optimized at 121 nm or Pt |
| 偏離角 | 70° |
| 線色散 | 2.3 nm/mm at 50 nm |
| 驅動 | Fast worm drive |
| 分辨率 | Better than 0.2nm (*) |
| 真空度 | A few 10-6 mbar |
應用領域
激光高次諧波（HHG）
極紫外反射/透射
等離子體發(fā)射光譜
可調諧真空紫外光源
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上海尤譜光電科技有限公司
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