Energetiq獨(dú)特設(shè)計(jì)的極紫外（EUV）光源EQ-10系列能最小化熱負(fù)荷并減少碎屑產(chǎn)生，緊湊的模塊化設(shè)計(jì)，易于精準(zhǔn)掌控峰值亮度和峰值功率，非常適用于測(cè)量以及研究等應(yīng)用領(lǐng)域。

在半導(dǎo)體光刻、掩模版檢測(cè)、材料研究和生命科學(xué)等領(lǐng)域的技術(shù)進(jìn)步，依賴于能產(chǎn)生深紫外至X射線波段（10至50納米）輻射的等離子體光源。傳統(tǒng)產(chǎn)生極紫外光的方法使用電極，這種方式會(huì)產(chǎn)生熱量并生成有害碎屑，難以適應(yīng)生產(chǎn)環(huán)境需求。

Energetiq的無(wú)電極Z-Pinch? EUV光源采用專利設(shè)計(jì)，通過電感耦合方式將電流導(dǎo)入等離子體，以清潔、低溫的方式產(chǎn)生超短波紫外輻射。其模塊化設(shè)計(jì)確保了高運(yùn)行時(shí)間與經(jīng)現(xiàn)場(chǎng)驗(yàn)證的可靠性，同時(shí)提供用戶可調(diào)控的輸出功率和亮度優(yōu)化功能。

優(yōu)勢(shì)特點(diǎn)

• 易用可靠，適用于光刻研發(fā)

• 極小的熱負(fù)載

• 優(yōu)秀的空間穩(wěn)定性

• 高重頻

• 穩(wěn)定的可重復(fù)的功率輸出

• 簡(jiǎn)單靈活的光接口

• 符合CE Mark和SEMI S2-0715標(biāo)準(zhǔn)

選型參考

*Power into 2π steradians (13.5nm ±1% bandwidth).?Power into 2π steradians (2.8nm line emission).

Note: Performance measures in this Selection Guide are typical values for guidance in the selection and use of the EQ-10 Series products. They are not to be taken as specifications.